Моделирование сильноточного разряда низкого давления в плоском и цилиндрическом магнетронах

Об авторе:

Удовиченко Сергей Юрьевич, доктор физико-математических наук, профессор кафедры прикладной и технической физики, Физико-технический институт, руководитель НОЦ «Нанотехнологии», Тюменский государственный университет; eLibrary AuthorID, ResearcherID, ScopusID, udotgu@mail.ru

Аннотация:

Развита гидродинамическая модель сильноточной формы тлеющего разряда низкого давления в плоском магнетроне и представлена модель этого разряда в цилиндрическом и обращенном цилиндрическом магнетронах. Модели учитывают генерацию быстрых электронов за счет γ–процессов на катоде под действием падающих на него ионов плазмы. Найдены условия самоподдержания разряда, позволяющие оценить напряжение горения разряда, определить критические значения магнитного поля и давления остаточного газа, ниже которых существование сильноточной формы разряда становится невозможным. Проведено сравнение условий самоподдержания разряда в магнетронах различной геометрии.

Список литературы:

1. Барченко В.Т., Крупович Н.В., Удовиченко С.Ю. Моделирование характеристик газоразрядных систем с полыми катодами // Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 3/2. С. 59-61.

2. Барченко В.Т., Крупович Н.В., Удовиченко С.Ю. Моделирование ВАХ сильноточного тлеющего разряда с полым катодом, возбуждаемого в условиях левой ветви кривой Пашена // Известия СПбГЭТУ “ЛЭТИ”. 2012. № 1. С. 18-23.

3. Никулин С.П. Условия существования положительно заряженной структуры в тлеющем разряде с осцилляцией электронов в магнитном поле // ЖТФ. 1998. Т. 68, № 7. С. 56-63.

4. Окс Е.М., Чагин А.А. Сильноточный магнетронный разряд в плазменном эмиттере электронов // ЖТФ. 1988. Т. 58, № 6. С. 1191-1193.

5. Окс Е.М., Чагин А.А. Эмиссионные свойства плазмы сверхплотного тлеющего разряда, возбуждаемого в скрещенных ЕН полях // ЖТФ. 1991. Т. 61, № 6. С. 204-206.

6. Окс Е.М., Чагин А.А., Щанин П.М. Использование сильноточного разряда в скрещенных Е и Н полях для получения трубчатых электронных и ионных пучков // Доклады I Всесоюзного совещания по плазменной эмиссионной электронике. Улан-Удэ, 1991. С. 18-23.

7. Козырев А.В. О напряжении горения сильноточного разряда низкого давления // Труды III международного Крейнделевского семинара «Плазменная эмиссионная электроника». Улан-Удэ, 2009. С. 5-9.

8. Барченко В.Т., Крупович Н.В., Удовиченко С.Ю. Влияние магнитного поля на характеристики газового разряда, возбужденного в условиях левой ветви кривой Пашена // Известия СПбГЭТУ “ЛЭТИ”. 2012. № 6. С. 10-15.

9. Зюлькова Л.А., Козырев А.В., Проскуровский Д.И. Расчет параметров сильноточного отражательного разряда с горячим катодом // ЖТФ. 2005. Т. 75, № 11. С. 59-64.

10. Барченко В.Т., Крупович Н.В., Удовиченко С.Ю. Условия горения сильноточного разряда низкого давления в цилиндрическом магнетроне // Труды 67-й научно–технической конференции, посвященной Дню радио. СПб., 2012. С. 279-280.